Для багатьох компонентів із нітриду кремнію потрібні щільні масиви точних отворів 0,5 мм, наприклад вакуумні патрони для напівпровідників, направляючі пластини плат зондів, пластини розподілу рідини, керамічні фільтри та підкладки силової електроніки. Типове розташування масивів, включаючи схеми отворів 49 × 49 або 50 × 50, поєднує високу пропускну здатність із достатньою механічною міцністю.
Просвердлити сотні чи навіть тисячі точних отворів у нітриді кремнію набагато складніше, ніж просто зробити наскрізні-отвори. Стабільне виробництво вимагає чудового контролю тепла, точності та послідовності процесу.
Чотири викликиТочне свердління нітриду кремнію
1. Термічна напруга в масивах щільних отворів
Під час безперервного лазерного свердління тепло накопичується навколо сусідніх отворів. Нітрид кремнію не розсіює тепло так ефективно, як метали, що робить щільні масиви дірок більш сприйнятливими до локалізованого теплового стресу.
Без оптимізованого керування процесом надмірне тепло може призвести до мікро-тріщин, особливо коли товщина стінки між сусідніми отворами стає дуже малою.
2. Контроль конусності отвору
Звичайне однопрохідне лазерне свердління часто створює конічні отвори, у яких вхідний діаметр більший, ніж вихідний.
Для застосувань, пов’язаних із вакуумною адсорбцією, контролем рідини або напівпровідниковим інструментом, надмірна конусність може знизити функціональні характеристики та послідовність.
Тому створення майже прямих стінок отвору стає важливою метою під час точного лазерного свердління.
3. Повторне заливання шару та видалення сміття
Лазерне свердління випаровує керамічний матеріал, утворюючи розплавлені частинки та сміття всередині отвору.
Якщо ці залишки видалити неефективно, вони можуть залишитися прикріпленими до стінки отвору, впливаючи на якість поверхні та збільшуючи вимоги до -обробки.
Правильна допомога газу та оптимізовані стратегії буріння допомагають покращити чистоту отвору, мінімізуючи вторинну обробку.
4. Точність позиціонування у великих масивах
Обробка сотень або тисяч отворів на одній керамічній пластині вимагає чудової повторюваності позиціонування.
Навіть невеликі відхилення позиціонування можуть накопичуватися під час тривалих циклів обробки, знижуючи загальну узгодженість масивів великих отворів.
Для напівпровідників і прецизійної кераміки підтримання стабільної точності позиціонування по всій заготовці часто важливіше, ніж сама швидкість свердління.
Лазерне рішення WHYC для виготовлення точних отворів 0,5 мм
WHYC Laser розробив рішення для лазерного свердління кераміки спеціально для точних отворів з нітриду кремнію.
Наша стратегія обробки поєднує оптимізовані параметри лазера з точним керуванням рухом для покращення якості свердління та стабільності виробництва.
Багато-ступеневе лазерне буріння
Замість того, щоб видаляти весь матеріал за одну операцію, процес свердління завершується кількома контрольованими етапами, що зменшує термічне навантаження та покращує геометрію отвору.
Оптимізована газова допомога
Система допоміжного газу- під високим тиском безперервно видаляє сміття під час буріння, допомагаючи отримати чистіші стінки отвору та зменшуючи потребу у вторинному очищенні.
Платформа High-Precision Motion
Жорстка конструкція машини, технологія лінійного двигуна та замкнуті-системи позиціонування забезпечують стабільну точність для масивів великих отворів протягом розширених виробничих циклів.
Пакети процесів для типових масивів отворів
WHYC Laser пропонує оптимізовані пакети процесів для звичайних конфігурацій масиву отворів нітриду кремнію, допомагаючи клієнтам скоротити час розробки процесу та прискорити виробництво.
Сьогодні точна обробка отворів 0,5 мм стала однією з такихЗрілі виробничі рішення WHYC Laser, підтримуючи як клієнтів обладнання, так і проекти контрактного виробництва.
Типові застосування
YCLaserрішення широко застосовуються до компонентів із нітриду кремнію як для зразків прототипів, так і для деталей масового-виробництва; лазерне свердління забезпечує гнучку, високо{1}}ефективну обробку для вдосконаленого виробництва кераміки.
Вибір правильногоЛазерна система буріння з нітриду кремнію
Вибираючи рішення для лазерного свердління, виробники повинні оцінювати розмір отвору, що перевищує мінімальний.
Важливі міркування включають:
>>Стабільність виробництва
>>Консистенція отвору
>>Контроль термічного пошкодження
>>Конус отвору
>>Точність позиції
>>Повторюваність процесу
>>Технічна підтримка та досвід застосування
Надійна система лазерного свердління має стабільно забезпечувати-якісні результати виробництва, а не зосереджуватися виключно на лабораторних показниках.
Висновок
Лазерне свердління нітриду кремнію є складним процесом, який вимагає ретельного контролю теплових ефектів, геометрії отвору та точності позиціонування.
Зверніться до WHYC Laser щоб обговорити ваш проект лазерного свердління нітриду кремнію або подати запит на оцінку зразка для точної обробки керамічних отворів (безкоштовне тестування зразків)
