Керамічні підкладки з нітриду кремнію (Si₃N₄) все частіше використовуються в модулях живлення EV, IGBT, SiC і системах накопичення енергії завдяки їх чудовій стійкості до термічного удару та механічній міцності.
Традиційне виробництво зазвичай потребує окремих верстатів для свердління, скрайбування та контурного різання, що призводить до повторних маніпуляцій, багаторазового вирівнювання та вищих витрат на виробництво.
Наша інтегрована платформа лазерної обробки виконує ці операції в одній установці, зменшуючи обробку, покращуючи точність позиціонування та спрощуючи виробництво.
Одна платформа, кілька процесів
Після-одноразового вакуумного затискання та вирівнювання ПЗС машина може автоматично виконувати:
›››Лазерне свердління
›››Лазерний скрайбінг
›››Контурна вирізка
Використання однієї системи координат протягом усього процесу мінімізує помилки вирівнювання та знижує ризик відколів або прихованих тріщин, спричинених повторним використанням.
Два варіанти лазера
Волоконний лазер QCW потужністю 150 Вт
Ідеально підходить для:
›››Контурна вирізка
›››Поділ панелей
›››Нарізка канавок
›››Підкладки Si₃N₄ середньої{0}}товщини (0,4–1,2 мм)
Переваги
›››Карбонове покриття не потрібне
›››Висока ефективність різання
›››Оптимізоване багатошарове різання для зменшення теплового стресу
355 нм УФ наносекундний лазер
Ідеально підходить для:
›››Прецизійне мікросвердління
›››Точний скрайбінг
›››Тонкі підкладки (0,1–0,8 мм)
›››Керамічні пакети-високої щільності
Переваги
›››Зона-невеликого теплового впливу
›››Стінки з гладкими отворами
›››Краща якість краю
›››Вища точність мікрофункцій
Додаткова автоматизація
Автоматичне завантаження та розвантаження доступні як опція.
Клієнти можуть вибрати ручне завантаження для прототипування або додати модуль автоматизації для великого-обсягу цілодобового виробництва з:
›››Багатошарові журнали-
›››Вакуумна обробка
›››Автоматичний збір
›››Підключення до MES
Розроблено для нітриду кремнію
Для зменшення теплового навантаження під час обробки система включає:
›››Вакуумний патрон
›››Азот-під високим тиском
›››Робочий стіл-з водяним охолодженням
›››Стратегія-за-обробкою шарів
Ці функції допомагають покращити стабільність обробки та зменшити утворення тріщин.
QCW волокно проти УФ-лазера
| Особливість | Волокно QCW | 355 нм УФ |
| Контурна вирізка | ★★★★★ | ★★★☆☆ |
| Мікросвердління | ★★☆☆☆ | ★★★★★ |
| Лазерний скрайбінг | ★★★★★ | ★★★★★ |
| Тонкі підкладки | ★★★☆☆ | ★★★★★ |
| Найкраще для | Високо{0}}швидкісне різання | Високоточна-обробка |
Додатки
Платформа підходить для:
›››Нітрид кремнію (Si₃N₄)
›››Глинозем (Al₂O₃)
›››Нітрид алюмінію (AlN)
Типові області застосування включають модулі IGBT, силові пристрої SiC, електроніку для електромобілів, системи накопичення енергії, промислові силові модулі та радіочастотні керамічні блоки.
Висновок
Свердління, скрайбування та різання, виконані в одній установці, інтегрована лазерна платформа спрощує виробництво нітриду кремнію, підвищуючи точність і скорочуючи роботу.
Доступний або з a150 Вт QCW волоконний лазерабо a355 нм УФ наносекундний лазер, це практичне рішення як для велико{0}}виробництва, так і для точної обробки кераміки.(Доступне безкоштовне тестування зразків. Запити вітаються.)
